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白光干涉薄膜厚度測量儀Delta
產品特點
快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高
應用案例
應用領域? ? ? ??? ? ? ? ? ? ? ??
半導體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）、LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)?、LED (SiO2、光刻膠ITO等）、觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)?、汽車(防霧層、Hard Coating DLC等）、醫學（聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等）
技術參數
型號 |
Delta-VIS |
Delta-DUV |
Delta-NIR |
波長范圍 |
380-1050nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
厚度范圍 |
50nm-40um |
1nm-30um |
10um-3mm |
準確度1 |
2nm |
1nm |
10nm |
精度 |
0.2nm |
0.2nm |
3nm |
入射角 |
90° |
90° |
90° |
樣品材料 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
測量模式 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
光斑尺寸2 |
2mm |
2mm |
2mm |
是否能在線 |
是 |
是 |
是 |
掃描選擇 |
XY可選 |
XY可選 |
XY可選 |
注：1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。
? ? ? ?2.?可選微光斑附件。
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